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中國光刻機發展
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2020年全球及中國光刻機行業市場現狀及競爭格局分析… - Sahrz
科普一下我國光刻機的發展歷史! 1965年中國科學院研制出65型接觸式光刻機。1970年代,中國科學院開始研制計算機輔助光刻掩模工藝。1972年,武漢無線電元件三廠 ...
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