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中國光刻機發展
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ChipChina:IC制造光刻机的发展趋势和技术挑战 - 半导体芯科技
曾几何时,光刻机作为半导体前道制程的关键设备同时也是我国最重要的“卡脖子”技术之首,陷入了两股风潮:媒体不遗余力宣传光刻机尤其是中国人爱而不得 ...
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