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丙酮酒精
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黃光微影 - 應用物理學系- 國立高雄大學
Si基板,丙酮,酒精,去離子水,震洗器,正光阻液(S1813),顯影液(MF319),遮罩,紫外光曝光箱,加熱器,旋舖機,氮氣槍。 實驗原理:. 光阻可分為正、負光阻,和曝光 ...
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