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清洗製程

阻，清洗晶圓，達到酸鹼中和，. 以進行後續製程。 清洗劑：. • 清洗劑：. – APM（SC-1 或HA）：. • 成分：NH ... 每兩道清洗劑之間用去離子水（D. ... 丙酮（acetone）.

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