矽丙烷Trisilane(Si3H8)之薄膜緻密度(Density)、沈積薄膜的平滑性(Smoothness)、連續性(Continuity)及摻雜兼容性(Dopants)皆比矽乙烷Disilane(Si2H6)高約十倍以上,矽 ...
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