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上海微電子光刻機
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上海微電子的新一代光刻機,與荷蘭阿斯麥爾技術相差20年
9月19號,上海微電子裝備集團宣布推出SSB520型新一代大視場高解析度先進封裝光刻機!新一代封裝光刻機投影系統全面升級,可滿足0.8μm解析度光刻工藝 ...
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