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使用三重植入通过裂开分离硅薄膜的方法 - Google

[0016] 相比而言，对于某些应用，有必要在植入之后但是在裂开之前或者甚至在键和之前，实施包含一高温热处理的步骤。如果裂开热处理的温度相对于之前步骤是足够高，对于裂 ...

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