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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

室所開發之一系列三軸微型電容式加速度計為例，. 說明CMOS MEMS 元件設計、製造與測試的完整. 流程。本文主要使用台灣積體電路製造股份有限公.

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