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三軸式壓電微加速度計之設計與系統建模 - 國立高雄科技大學

量測三軸加速度，證實元件設計可行性與模型推導的. 正確性。 關鍵字：微感測器，壓電加速度計，三軸加速度，壓. 電薄膜。 1. 前言. 微加速度計已成功在汽車工業廣泛 ...

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