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三軸式壓電微加速度計之設計與系統建模

量測三軸加速度，證實元件設計可行性與模型推導的. 正確性。 關鍵字：微感測器，壓電加速度計，三軸加速度，壓 ... 加速度計負荷由質塊的慣性力形成，並應用虎克.

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