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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

速度計。文中將介紹設計原理、機械結構、感測介面及感測電路等。 ... 室所開發之一系列三軸微型電容式加速度計為例， ... 三軸加速度計在單一CMOS MEMS 晶片中。

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