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三軸式微加速度器模態系統設計 - 國立高雄科技大學

此外，利用ANSYS 軟體來模. 擬感測器的敏感度，驗證電極配置量測三軸向加速度. 的可行性。並探討結構參數對感測敏感度和有效頻寬. 的影響，以供未來最佳化設計之參考。

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