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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

electromechanical systems, MEMS) 感測元件來賦予 ... 計(accelerometer) 已大量應用於車用電子感測器， ... 室所開發之一系列三軸微型電容式加速度計為例，.

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