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TWI461625B - 低蒸汽壓高純度氣體輸送系統 - Google Patents

實驗結果示於圖3中(x軸的正值代表液面高度在加熱器之上，而負值則是在加熱器下方)。有圖中可得知，當液面高度降低至關鍵壓力液面高度以下時，沒有與該液相低蒸汽壓氣體 ...

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