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超臨界流體技術在電子元件之新應用 - 材料世界網

當一個物質所處的溫度及壓力同時都高過其臨界點的溫度與壓力時，則稱之為超臨界流體，如圖一所示，此時其物理及化學性質與一般所熟知的固、液、氣三相 ...

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