通常藉由鋁[24]、鎵[25]、銦[26]等元素的摻雜來增進ZnO薄膜的. 電子濃度及電子遷移率,進而提升其導電性[25]。氧化鋅摻雜三價鋁離子的薄膜(AZO)因為具有良好的導電性 ...
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