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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

「矽晶圓」（Silicon Wafer）就是積體電路製造業使用之矽晶片，因為其形狀. 為圓形，故稱為矽晶圓。矽晶圓經加工製作成各種電路元件結構，而成為有特定. 電性功能之積體 ...

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