為什麼這篇pmma製程鄉民發文收入到精華區:因為在pmma製程這個討論話題中,有許多相關的文章在討論,這篇最有參考價值!作者jen0410 (~任~)看板NEMS標題[問題] PMMA光阻後接lift-off時間Wed ...
pmma製程 在 greenutss?飲食營養•運動健身•心靈雞湯 Instagram 的最佳解答
2021-04-04 17:15:58
[冷知識系列_ep.1] 我哋成日都建議客人飲多d水 💧但係買咩種類嘅膠樽唔知你又識唔識呢😏 - 第一類: 膠帶與寶特瓶、市售飲料瓶、食用油瓶等塑料瓶。耐热攝氏60~85 °C(140~185 °F)並耐酸鹼,過热及長期使用可能會釋出塑化劑DEHP。但是一般情况下,PET材料不会添加塑化劑。 - 第...
版上的先進大家好,
小弟最近在實驗上遇到了一些問題想來請教版上的意見。
目前製程是這樣 coating PMMA(250nm) -> E-beam lithography -> E-gun蒸鍍40nm ->
-> lift-off
遇到的問題是lift-off不起來,PMMA應該是一進ACE就溶的差不多了,不過金屬膜不會
隨著PMMA的溶解而浮起,產生類似stiction的現象,黏在表面了,最近嘗試發現ACE ->
-> IPA -> 慢慢加水在試片表面形成液珠 ,這時候金屬膜就會因為水的表面張力被拉
起來了,不過遇到兩個問題,1. 沒辦法完全lift-off,2.lift-off後的形狀不漂亮,
老闆說有奈米的東西不准我們用超音波震= = 希望有人能解惑,謝謝。
另外一問,老闆一直說台灣的E-gun蒸鍍太慢(我度率大概在1.5A/s),他說在美國隨便做
都3A/s以上,想請問有誰聽過哪邊有鍍率很高的E-gun蒸鍍(非Al) Orz...
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