[爆卦]pmma製程是什麼?優點缺點精華區懶人包

為什麼這篇pmma製程鄉民發文收入到精華區:因為在pmma製程這個討論話題中,有許多相關的文章在討論,這篇最有參考價值!作者jen0410 (~任~)看板NEMS標題[問題] PMMA光阻後接lift-off時間Wed ...

pmma製程 在 greenutss?飲食營養•運動健身•心靈雞湯 Instagram 的最佳解答

2021-04-04 17:15:58

[冷知識系列_ep.1] 我哋成日都建議客人飲多d水 💧但係買咩種類嘅膠樽唔知你又識唔識呢😏 - 第一類: 膠帶與寶特瓶、市售飲料瓶、食用油瓶等塑料瓶。耐热攝氏60~85 °C(140~185 °F)並耐酸鹼,過热及長期使用可能會釋出塑化劑DEHP。但是一般情况下,PET材料不会添加塑化劑。 - 第...


版上的先進大家好,

小弟最近在實驗上遇到了一些問題想來請教版上的意見。

目前製程是這樣 coating PMMA(250nm) -> E-beam lithography -> E-gun蒸鍍40nm ->

-> lift-off

遇到的問題是lift-off不起來,PMMA應該是一進ACE就溶的差不多了,不過金屬膜不會

隨著PMMA的溶解而浮起,產生類似stiction的現象,黏在表面了,最近嘗試發現ACE ->

-> IPA -> 慢慢加水在試片表面形成液珠 ,這時候金屬膜就會因為水的表面張力被拉

起來了,不過遇到兩個問題,1. 沒辦法完全lift-off,2.lift-off後的形狀不漂亮,

老闆說有奈米的東西不准我們用超音波震= = 希望有人能解惑,謝謝。



另外一問,老闆一直說台灣的E-gun蒸鍍太慢(我度率大概在1.5A/s),他說在美國隨便做

都3A/s以上,想請問有誰聽過哪邊有鍍率很高的E-gun蒸鍍(非Al) Orz...

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 118.169.72.117
nevinyrrals:你的線寬大概多少? 08/01 15:48
jen0410:目前在測試 10nm 20nm .... 150nm 08/01 18:07
nevinyrrals:我覺得你還是可以私下嘗試看看用震洗的行不行 08/01 18:19
nevinyrrals:如果不行就算了 可以的話圖形應該會比目前的清楚 08/01 18:20
nevinyrrals:蒸鍍時電流再加高應該可以過3A/s 不過你的膜也不厚 08/01 18:24
nevinyrrals:好像也沒有必要就是了 08/01 18:25
oax:有check過pmma厚度嗎?會不會比預期薄? 08/07 21:41
Jeffch:金屬應該可以蠻快的...但要看真空度能不能維持... 08/10 07:18
shtsao:個人碩論做法是拿針筒裝ACE並在ACE溶液中朝SAMPLE區做沖洗 11/15 23:36
shtsao:至於e-gun 可以考慮中研院物理所NanoCore組的設備 網路找找 11/15 23:45

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