※ 引述《nodachiaki (期待交響SP)》之銘言：
: 標題: [問題] 請問在無塵室的黃光下會曬黑嗎
: 時間: Sat Jan 26 21:04:11 2008
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: 最近發現皮膚變黑了，
: 也很少出門去玩，
: 所以想說該不會是因為這幾天有進去無塵室的關係(黃光區)
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: 煩請板友前輩們指教，謝謝。
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: → eatingshit:當然會啊 應該說黃光會讓皮膚老化 黑色素加快沉澱 01/26 21:05
: → nodachiaki:我聽同事說黃光區反而曬了會變白啊，這是亂講的嗎?? 01/26 21:10
: → alex2001193:黃光的能量不是比較弱嗎??? 01/26 22:32
: → alex2001193:不然為什麼要在黃光作曝光顯影 因為黃光能量弱阿 01/26 22:33
: → ASG:樓上..我怎麼記得是波長...不是能量... 01/26 23:19
: 推 duckey:我有個疑問~就是進黃光不用穿無塵衣嘛?有的話怎麼會有影響? 01/26 23:33
: 推 mmx9797:不會~~~人體的黑色素是因為紫外線而沉澱的 01/26 23:34
: 推 konly:能量跟波長有關係 E=hc/波長　波長越長能量的確是越低 01/26 23:46
: 推 uhhuh:如果只有眼睛周圍曬黑,那應該就是黃光區害的.... 01/27 01:04
: 推 ekimlcl:會曬黑的是300~400nm左右的,你應該是毒氣吸多皮膚暗沉 01/27 02:12
: → ekimlcl:說曬黃光會變黑,不如說日光燈黑的更快些 01/27 02:13
: → aalps:想把這一篇轉到MUSCLE 海灘版去..... 01/27 14:42
: 推 ekimlcl:進黃光室真的要多喝牛奶排毒,很多東西口罩擋不住ㄉ 01/27 16:51
: 推 Waffen:黃光室很多都是有化學藥劑的製成，要很小心，而且身體要保 01/27 16:58
: → Waffen:護好，每年都要做健康檢查才保險。 01/27 16:59

黃光區的照明跟其他區不一樣, 因為是要濾掉紫外光,
目前是以 KrF Laser打出來的248nm深紫外光 或者 ArF Laser打出來
的193nm深紫外光當光源(i-line stepper就不講了),
而光阻液在Track端coating時, 若有紫外光穿透透明cover影響到光阻,
則曝出來的wafer會挫賽...= =
至於光源的波長, 波長越低能量越高, 所以為了減短曝光時間增加throughput
會以更短波長的光來當光源, 所以目前70nm製程技術用193nm波長的深紫外光...
話說, 前年本公司將機台抵押給某大銀行來借錢, 因此銀行團人員進Fab拍照
做產權轉移, 但倒楣的是----銀行人員不懂半導體製程, 拿該死的照相機
開閃光燈往正在run貨的Track機台一照, 掯.........
害得設備工程師追一堆Lot回來rework...

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