#半導體製程 #3D封裝 #微機電MEMS #太赫茲THz #時間區域反射法TDR

【見人之所不能見：太赫茲】

「太赫茲」(THz) 波段落在遠紅外線與微波之間，拜新技術、新材料發展之賜，脈衝形式的太赫茲訊號有望成為探索物質結構的利器。中國大陸的「十二五」與「十三五」計畫已明確將 THz 列為基礎研究項目之一。

利用「太赫茲」光譜特性，為 IC 提供非破壞性、安全且迅速的量測，精準地找出故障的位置。藉由將一個 THz 脈衝訊號打進待測物，觀察反射波、積體電路內部金屬路徑 (Interconnect) 阻抗變化，能檢測導線優劣及晶片內部的互通性，並透過反射訊號線圖的差異對比，找出問題點與確切故障位置；其定位精準度高達 5 微米，是傳統 TDR (時間區域反射法) 量測的百倍，更便於了解通訊晶片、微機電 (MEMS) 等精密元件是否有製程變異或由應力所造成的錫球連接異常。

堆疊焊球經過回焊 (reflow) 後，上層電子元件可能因溫度上升所產生的翹曲現象，導致 PoP 上、下層的堆疊焊球型態不一致、使元器件處於「虛焊」，甚至呈現「雪人式」不規則堆疊。3D 堆疊架構若存在細微的邊緣缺陷，通常無法以邏輯測試或電子測試儀器探查；這些潛在錯誤若不能及時辨別並準確偵測，將影響元件的電氣導通甚至完全無法運作。現今基板較以往更薄，更易因受溫度上升而產生翹曲的現象，對先進封裝中內部金屬路徑的連結性及可靠度將是莫大隱憂。

延伸閱讀：
《筑波牽手TeraView 「太赫茲」讓「邊緣缺陷」無所遁形》
http://compotechasia.com/a/celue___/2016/1014/33748.html
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#筑波科技 #TeraView #電子光學太赫茲脈衝反射儀EOTPR #EOTPR5000

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（圖為小說場景：貢寮澳底村的小7）
17 Above GroundZero　　
　　海在他們右側消失後不久，他們轉進村內，停在公路邊的廣場前。
　　西元2014年12月28日。夜間9時42分。台灣北海岸。北台灣核能災變前第295日。
　　澳底村的7-ELEVEN在黑暗中寂寞地亮著燈。廣場一側，小廟與商店明亮的落地玻璃相對。幾盞紅燈籠像獸的眼睛凝視著這深沉的夜。
　　沙塵漫漫。林群浩下了車，立在車門邊點燃了一支菸。
　　菸頭火閃爍明滅。小小的光點之後是比火光更暗的，浸染於長明燈紅色燈光中的宮廟。宮廟背倚著幾座小村中的平房。而平房之後，更遼遠處，籠罩於薄霧中，黑色的群山之外依舊連綿著黑色的群山。
　　山的黑暗像個生命的謎題。越過廣場，林群浩看見小蓉提著7-11的塑膠袋從日光燈無生命的熾亮中走來。

　　「吃點東西？」小蓉說：「你還沒吃晚餐呢？」
　　林群浩輕輕吐出白煙。「我不餓。你吃吧。」
　　小蓉點點頭。寒流來襲，低溫九度。冰的質感在濱海的空曠中穿行。冷風中，他們在宮廟前的台階上坐了下來。
　　「還在煩惱你們的全廠總體檢？」
　　「嗯......」林群浩有些遲疑。「我想總體檢可能快結束了。」
　　「那好呀。真是漫長的總體檢啊。」小蓉說：「從你一進公司就在處理這件事，現在終於完成了。」
　　「沒有。我頭大的就是這個。」林群浩將菸按熄在台階上。長明燈的血色光霧中，他的臉顯得扁平無表情。「我覺得我們根本沒做完。可怕的是，事實上可能永遠也做不完──」
　　「咦，之前有聽你說過一些困難......」小蓉說：「但有到那麼嚴重的程度嗎？根本做不完？很難想像......」
　　「唉。先別提了。想到就煩。」林群浩站起來。「我們到海邊走走？」
　　「很冷欸。」小蓉說：「啊，不過走走也好。你等我一下，我把東西吃掉──」

　　通往海邊的小路隱沒在大片濕地之間。那是芒草的巢穴，公路燈光視界的盡頭。而此刻，雲翳的觸手遮掩了月光。隨著時間，陰影的暗處正往更暗處持續移行。
　　「你注意到剛剛那個老人沒有？」林群浩說。風撞擊著他們的耳膜。海的預感在他們的意識中浮現。兩人壓磨著礫石與沙塵的步履隱沒在海風的暴烈呼嘯之中。
　　「什麼老人？」
　　「剛剛你吃東西的時候，廟裡不是有位老先生走出來？」林群浩說：「大概是廟公？」
　　「噢，你說他。怎樣？」
　　「你注意到了嗎？他沒有左手。」
　　「真的？」
　　「對。他的左手只到手腕。沒有手掌。我看得很清楚。」林群浩微笑。「你忙著吃東西沒看見。」
　　「噢，真可憐。」
　　「我想他大概是出來看看怎麼會有一對情侶坐在廟門口野餐吧。」
　　「嗯──所以？」
　　「沒有......」林群浩說：「我只是想到我們主任。我跟你說過他過勞到醫院打點滴的事吧？」
　　「你說你們陳主任嗎？」小蓉說：「陳弘球？沒有。你沒跟我說。」
　　「上週的事情。他在工地裡突然昏倒，還撞到頭，咚的一聲。我們緊張得要命，以為是中風之類的，結果送到醫院，醫生說應該是過勞，叫他留下來靜養打點滴，稍作觀察。他本來還不肯。我們好說歹說，勸他至少營養針打完了，頭不暈了再回家，他才勉強同意留下。」
　　「他家在哪裡？」
　　「就在這附近。在澳底村裡。確定住院後我跟他借了鑰匙幫他回家拿些私人物品。衣服什麼的。門一打開我嚇一跳。除了桌、椅、床、衣櫃之外，就什麼都沒有了。沒電視，連個熱水瓶也沒有。」
　　「他沒有家人啊？怎麼是你幫他拿東西？」
　　「對，他好像沒有家人。」林群浩說：「我知道他年輕時結過婚，但離婚了。似乎沒有小孩。」
　　「一個人住到澳底來？」
　　「猜得到是為了工作。」林群浩嘆了一口氣。「他每天都比我們早到，比我們晚走。我敬佩他。那麼資深的工程師了，薪水應該也不低，沒有必要拼成這樣。我覺得他是把整個人都送給核四廠了。但他最近好像很挫折......」
　　芒草退向身後，小村公路上的燈光已化為不明確的星芒。此刻，伴隨著潮浪對空間的撞擊，黑海正在他們眼前展開。那是夜間的海，遼闊或寬廣已非必然，因為水面最遙遠的邊界已然消失，隱身於巨大而濃重的黑暗中。除了岸邊被調暗了光度的細碎白色浪花，除了遠處灣岸小小的燈光與漁火，他們所面對的，似乎並不像是真實存在的海，而竟僅是凝止於此的，一片廣漠無邊的虛空。
　　「挫折什麼？」
　　「還不就跟我一樣。」淺短的沙岸，他們坐在一截史前生物脊骨般巨大的漂流木上。「全廠總體檢要結束了。V顧問公司打算要撤了。但我們根本還沒做完──」
　　「怎麼會這樣？不是很危險嗎？」
　　「我也不知道為什麼會這樣。核四命盤有問題吧。」林群浩苦笑。他的側臉隱沒在空間本有的黑暗中。「之前跟你提過，之所以核四的問題比核一核二核三更嚴重，是因為分包太多，又層層轉包，當初又沒有好好監工的緣故。那是一隻失控的機械怪獸啊。像亂長的癌，長著長著就變成了現在這個巨大的模樣。但那也就算了，來這裡以前，我本來以為問題沒那麼嚴重，反正我就是來參加這個總體檢team的──而且這總體檢還是由建廠經驗豐富的工程顧問公司V公司指導的；我以為我們只要把改善工程一項一項確實完成，把做壞的東西都抓出來重做，電廠就可以安全運轉了。」
　　「當初為什麼要找那麼多包商？又不好好監工？」
　　「因為核四實在蓋太久了。」林群浩說。「唉。陰錯陽差。以前是由國外的核電技術輸出顧問公司──就是像V公司這樣的公司──派出技術人員，拿著固定的設計圖、固定的試運轉程序書，到現場要求照表施工和測試。那都是在國外的廠已用過，確保確實可行的。我們公司也有人也配合監工，等於是一面學習的意思。但一九八五年核二核三加入發電後，電一下子太多，當時的總統蔣經國和行政院長俞國華於是決策暫緩興建核四，凍結預算。
　　「這一拖十幾年過去，直到一九九九年，從前的原能會核發反應爐執照，重新開始動工，公司原先參與核二核三的那些人都不見了。不是退休就是轉職了。聽一些前輩說，這其中有些人還跑去幫韓國人蓋電廠。我們公司裡面已經很少有人有實際參與核電廠建廠的經驗。沒有人會做電廠，只好把設計圖丟給包商，讓它們自己去做；連監工也是包商自己負責，等於公司放棄監工。接著二０００年年底民進黨上台後又是停建核四、然後頂不住壓力再復建核四。這麼折騰來折騰去，有經驗的人員又都走了，重點是，還找了一間爛顧問公司！
　　「主任說，當初這家石威公司低價搶顧問標，搶是搶到了，事實上根本沒有能力，加上我們公司其實已經不知道怎麼蓋核電廠，設計可能已經七零八落。但石威公司卻又沒有能力好好糾正。這顧問公司爛到我們公司受不了，自己跟它解約。留下來的爛攤子就是我們公司內部自己處理。然後接下來就是到處分包跟層層轉包了──」
　　「低價搶標就可以成功？這麼容易？」小蓉問：「這聽起來不太合理......」
　　「據說這跟採購法有關。採購法有問題。但詳情我也不了解。總之他們是得標了。而且因為價格太低，他們根本是會賠錢的，聽說得標後，當初石威公司裡主導低價搶標的幾位決策人物全都被開除了。真荒謬。」
　　「這麼離譜啊？」小蓉問：「那現在呢？為什麼要放棄全廠總體檢？」
　　「總統都說了，公投都投了，不能不蓋完哪。」林群浩說。「唉，那個bumbler。公投之前媒體的報導就很多了，不知道你有沒有印象；說是過去幾年，廠區不同的地方一共淹水過好幾次。那都是有『實質損失』，會泡壞儀器的嚴重淹水。有一次二號機廠房還淹到二公尺高。一下子說是颱風，一下子水龍頭漏水；這很明顯不是當初設計有問題就是施工有問題──根據我們體檢改善的經驗，應該是通通有問題。水龍頭漏水那次就被查到是管線連接工程出問題，日規管和美規管沒有整合好──」
　　「這麼慘啊？」
　　「噢這還不算慘好嗎？真正慘的是，水淹過了，還沒改善，下次又淹！」林群浩說：「之前媒體有拍到圍阻體水泥牆上嵌著垃圾保特瓶的照片──」
　　「噢對啊，」小蓉問：「那怎麼回事？」
　　「我告訴你，那才誇張，之前有一段時間，工地附近是沒有臨時廁所的。工人直接對著保特瓶小解。就是這麼來的！」林群浩愈說愈激動：「這就是核四現場施工的品質！」
　　「等等，不對。」小蓉打斷林群浩：「你沒有說為什麼要停止全廠總體檢。之前沒做好，現在繼續改善下去不就好了嗎？到底為什麼不能繼續下去？──」
　　林群浩稍作暫停。「這我不清楚。我覺得不該放棄，但這是現在上面顯然傾向如此。」
　　「上面？你是說你們公司高層？還是......」
　　「我不知道。」林群浩站起身來，又掏出一支菸。然而暴烈的海風滅去了所有的光與火。他點不著菸，頹然將菸放回菸盒裡。「這哪裡是我能知道的？如果是政治因素，那我就更不知道了。公投之前不是請了那位林宗堯來做全廠安檢嗎？你記得吧？」
　　「喔對，林宗堯那是怎麼回事？」小蓉問：「他之前發報告說核四基本上是沒救了，我在臉書上有看到。你還跟我說沒關係，說你們可以做得比他更好......」
　　「他跟我們不是同一個team。」林群浩解釋：「大白話是，因為大家比較相信林宗堯，所以請他來組個team，進行安檢。那時候還沒公投，我覺得林宗堯這事這比較接近是我們公司的公關考量，算是當初搞公投的公關配套之一。他的team也不差，是由美國GE公司的十二位顧問領軍，另外向核一核二核三廠借調了四十五位資深工程師組成的。但檢查了一陣子，他的結論大意其實是說，核四一共有一二六個系統，其中七十個系統檢查得差不多了，剩下五十六個系統是『無法接收，須予退回』。」
　　「什麼意思？」
　　「很簡單，我們team的總體檢也遇到類似問題。」林群浩解釋。「我們做得比林宗堯更久啊。有一部份是這樣的：由於當初缺乏監工，施工品質一塌糊塗；但有些管線、焊接點等施工項目，已經埋進牆壁裡，埋進反應爐底部，埋進這些建築結構的最深處。如果要檢查，必須一一挖開來檢查。但若真要開挖，曠日廢時，也根本沒錢再蓋回去。幾乎等於是要打掉重做的意思。光是責任歸屬，又不知道要追到哪裡去了。」
　　「這種情形很多嗎？」
　　「你說呢？」林群浩說：「我們這邊，V顧問公司之前檢查了全廠的消防系統──只是消防系統哦；列出的缺失項目寫成報告書，厚厚一本65頁！光是消防系統就65頁！你覺得這種缺失多不多？」
　　「所以林宗堯的意思是？......」
　　「對，他的意思大約就是，類似缺失太多，又難以確實檢測，因此系統無法接收，只能退回。而且重點是，責任歸屬難以釐清，重新再做則工程浩大，曠日廢時。那是超級大錢坑啊。所以一言以蔽之，完全看不到事情的盡頭......」
　　小蓉默然。
　　「結果經濟部長居然就出來說話了，他說：安檢結果不是林宗堯一個人說了算。」林群浩稍停。「我完全不理解這些官員到底在想什麼......你們自己請來的專家，你們自己不承認他做出來的結果，這什麼道理？」
　　「你們主任怎麼說？」小蓉問。「關於結束總體檢這件事......」
　　「這不用問我們主任。」林群浩說：「我自己可以猜得到為什麼總體檢做不下去。」
　　「為什麼？」
　　「我這只是猜測。我猜是問題大到顧問公司也怕了。這家V顧問公司是專為解決核四的這些陳年舊帳而來的。他們的能力沒問題，但問題在於，我們公司和V公司並不是直接簽約的，也不是統包。換言之，V公司算是個別顧問。並沒有一個正式的『全廠總體檢』合約。沒有。是我們公司對什麼地方有什麼特別疑義，才請他們來檢查的。」
　　「呃......那不是等於說這個總體檢不是玩真的？」
　　「對。像我之前提的，他們提的改善意見多到不可思議的地步，但我們廠兩個反應爐機組幾乎完全蓋好了，那些已經埋進去的地方根本難以檢測改善。不可能把整個反應爐或圍組體全都打掉重做啊──那是天價。公投之前社會壓力就已經很大了，追加預算都要頭破血流的──但偏偏那又是些致命的嚴重問題。」林群浩稍作暫停。「我猜V公司知道問題嚴重，不想再淌這趟渾水了。」
　　「那這些人......我說你們公司怎麼可以這樣？說要總體檢就老老實實地體檢不是很好嗎？他們這樣敷衍有什麼好處？」
　　「噢，這個更慘。」林群浩說：「你知道嗎，公司裡一直有傳言，說因為當初建廠就草率無比，又層層轉包，這中間是有scandal的。有人說上面不願意認真總體檢，是因為怕V公司簽了約認真體檢下去，會把大小弊案都掀出來......」
　　「天哪......」小蓉稍停半晌。她說不出話來。
　　「我覺得這推測非常合理。」林群浩說：「你想，工程是我做的，現在要找一個人來把我過去的問題全部揪出來──要是你，你願意嗎？你會認真配合嗎？這究責起來，我官還用做嗎？」
　　「呃──那──他們──這樣還要完工？還要商轉？」
　　「我能說什麼？唉......」
　　「阿浩，你覺得......」小蓉稍停半晌。「......你還相信核電嗎？」
　　林群浩沒有回答。他閉上雙眼。這黑夜中渺無人跡的澳底村啊，連檳榔西施都沒幾個。他想像著陳弘球主任吊完點滴回到家（那是一幢老公寓的二樓，一樓店面已空下許久，此刻堆滿了生鏽的機具和漁網，如同一座向夜海臨時借用的倉庫），步上僅容一人穿行的窄仄小梯，打開小鐵門（喀啦喀啦的鑰匙，嘎茲嘎茲的鑰匙孔），打亮日光燈（閃了五六下，而後終究亮起），獨自面對著一方他自己的個人空間。但那真是他的個人空間嗎？或許也不是──那是他內心燈光黯淡的廠區，他一個人的核四廠。他聽見自己生命運轉的幫浦聲。他的心在疲憊地跳動，他的臟器皮囊在日復一日的冷卻循環中自我耗損，成為虛空。他失敗的感情──像那些輻射毒素，生命的代謝廢品──猶且在延展經歷著它們漫長的半衰期，漫長至那衰變必然長過於他的此生。
　　他只能工作。只有工作。除此之外，他就什麼也沒有了。
　　而現在，他甚至連工作的尊嚴也沒有了。

　　「我不知道......」林群浩低下身，拾起沙岸上散落的小石，投向大海。海無聲地吞噬了它，吞噬了周遭的黑暗。「以前我以為我知道。日本福島核災之後大家疑慮更深，但我總覺得那只是極端狀態。我以為那是例外。......但我現在想，我們是不是過度自信了？人類是不是過度自信了？文明是不是過度自信了？如果有一天，我們確認我們是過度自信了，但事情已經進行大半，騎虎難下，我們該怎麼辦？」
　　雲翳之後，月光如同一盞行將熄滅的夜燈。海面上升騰起一層輕紗般的薄霧。黑夜中的海以一種近乎無知覺的方式昭示了它的存在。
　　「好冷。越來越冷了。」小蓉起身，拉緊外套。「而且好像漲潮了。我們先回去吧。煩惱的事情──」
　　林群浩突然回身抱住小蓉。朦朧的月光下，他撫摸著小蓉被風吹亂的長髮，感覺自己的指尖穿透了空間的冰涼。
　　「我好害怕。」他說。「我好害怕。」
───伊格言長篇核災小說《零地點GroundZero》，麥田出版