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2021-07-11 09:58:07
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就近服務台積電 艾司摩爾南科設EUV培訓中心
自由時報
https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1394287
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭台積電位於南科的五奈米製程晶圓十八廠，是導
入極紫外光（EUV）微影設備的全製程廠區，將是全球擁有EUV最大產能的半導體廠；荷商
艾司摩爾（ASML）看好台灣半導體業，並服務大客戶台積電，正式在南科設立荷蘭以外的
首座EUV全球技術培訓中心，今正式開幕，以訓練EUV設備人才。
https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2020/08/20/213.jpg
海外首座EUV培訓中心
台積電的七奈米製程主要在中科十五廠量產，去年量產第二年，七奈米加強版才開始導入
EUV設備的技術。位於南科的晶圓十八廠剛量產五奈米製程，為台積電第一個採EUV微影設
備的全製程技術超大型晶圓廠（GigaFab），接續還將建置三奈米產能，將是全球擁有EUV
最大產能的半導體廠。
台積電是全球晶圓代工霸主，技術領先英特爾、三星等，英特爾在七奈米製程技術卡關，
日前已宣布將委外代工生產，三星則宣示下半年量產五奈米；台積電目前是全球最有能力
投資EUV微影設備的半導體廠，可說是ASML的大客戶，因此吸引ASML在南科設立荷蘭以外
的首座EUV全球技術培訓中心，以培訓EUV設備工程人才，就近服務客戶裝機與售後維修。
EUV微影設備 單價35億
EUV微影設備售價昂貴，全球僅ASML生產製造，業界預估一台售價超過一億歐元（約三十
五億台幣），…EUV技術門檻高，目前全球僅台積電、英特爾、三星採購居多；ASML在南
科廠區規劃約五百坪空間，配置EUV模組、訓練教室等，提供對內對外教育訓練，代表看
重台灣半導體市場。
台積3奈米 明年試產
因應五奈米、三奈米製程的投資龐大，即使面對疫情，台積電反而逆勢上修今年資本支出
達一六○至一七○億美元，帶動半導體供應鏈也旺。台積電估五奈米貢獻今年營收約八％
，與五奈米共用設備的四奈米製程預計二○二二年量產，三奈米製程目前進展順利，計畫
明年進入風險性試產、二○二二年下半年量產，屆時仍將是領先全球的技術。
◎小檔案：EUV 極紫外光微影技術
極紫外光微影（Extreme ultraviolet lithography，簡稱EUV），是一種使用極紫外波長
的下一代微影技術，透過高能量、波長短的光源，將電路圖案轉印到晶圓。EUV光源波長
比目前深紫外線微影的光源波長短少約15倍，因此能達到持續將線寬尺寸縮小的目的，透
過EUV微影設備，驅動晶片效能更高。台積電估算，採EUV與5奈米製程，相較7奈米，電晶
體密度多1.8倍，速度增快15％，功耗省30％（記者洪友芳）
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推 a2322896: 去不了荷蘭惹QQ 08/20 22:28
噓 dxdy: 好慘 以後asml直接在台南訓練XD 08/20 22:31
推 chongwen: 不能去荷蘭玩了QQ 08/20 22:38
推 mq778: 台積在台南一定是這家公司最正確的決定 08/20 22:38
推 alfi2016: 極紫外光製糖機 08/20 22:50
推 aaa790311: 馬的以後training 出國機會銳減 糙...... 08/20 23:07
推 momoChuChu: 設備乖乖顧機台 慘 08/20 23:10
→ EKman: 先炒房一波好嗎，超讚的 08/20 23:11
推 Zenta: 加糖嗎？ 08/20 23:42
→ fire2968: 荷蘭玩的計畫GG 08/21 00:03
推 ExxonMobil: 別想啦！covid19讓ASML的travel policy改變很多 08/21 00:30
→ wzmildf: 連去北部受訓都沒機會了，哭哭唷 08/21 00:47
推 fg008kimo: 以後都給我在台灣受訓XD 08/21 01:48
推 g870043: 沒得出差 08/21 08:35
推 zebracoco: 連去荷蘭爽都沒了。以後新人早上在南科受訓，下午到台 08/21 09:30
→ zebracoco: 積廠裡 08/21 09:30
噓 cocopkpk555: 多久以前的事了... 08/21 11:38
→ jtaocnky: lucky945表示: may i serve u GG? 08/21 14:29
推 moboo: 不用坐飛機多棒XD 08/21 15:18
推 birdlover: 還好吧 晶英那麼爽 住爆呀 08/21 18:38
推 duodeviginti: 最好現在還能去荷蘭啦好像很 08/21 20:16
推 iamkher: ASML這招很讚 果然是積極省錢的公司 以後也不用擔心疫情 08/21 22:33
推 maikxz: 台南那交通....還是住桂冠實在點 08/21 22:40
推 bonbonme: 我就是他媽飛不去荷蘭的受害者 08/22 14:36
推 Likeastone: 新訓完下部隊都在隔壁廠 好棒棒啊 08/22 18:50
推 ppc: 幫qq 08/22 23:57
→ nulltakashi: 這公司在台灣早就徹底台商本土化了 08/23 21:53
→ nulltakashi: 巷子內的都知道 08/23 21:53
→ nulltakashi: 會找海邊來的當HR head躲避勞檢 08/23 21:54
→ nulltakashi: 就說明ㄧ切了 08/23 21:54
→ wonder123: 以後在台灣而已不能看外國妞了 09/18 14:30