#開放式創新系統平台 #半導體 #製程良率

【「看見」更小的微粒　提高半導體製程良率】

在半導體濕式製程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中奈米粒子的尺寸與分佈會影響晶圓電路圖案(pattern)的製程結果，例如清洗過程奈米粒子的殘留，研磨階段的刮痕。因此溶液中粒子的大小及數量必需被持續監控，只要發現溶液粒子不符規格，就必需馬上暫停及更換，才能維持產品良率。因此半導體業者需擁有一雙能真正看得到更小微粒的『新眼睛』，這雙新眼睛就是工研院（ITRI）所研發成功的「新世代溶液中奈米微粒監控系統」！

很多人都知道，
在表面活性劑體系
鹽巴可以增稠
但是為什麼可以增稠
你真正了解過嗎??
我覺得賽百庫這寫的還真不錯
大家可以參考參考

文章.....
表面活性剂溶液的粘度通常取决于表面活性剂的胶束大小、浓度、添加类型/比例、温度和胶束的电荷密度。

盐
使用盐来增稠主要是通过降低胶束的电荷密度，从而有助于球形胶束向棒状胶束的转化。氯化钠是过往这类增稠剂的代表性产品。不过，像硫酸镁这样的二价盐在配方中如果配伍性好的话将更有增稠效率。使用盐增稠配方的粘度会随着温度的升高而降低，也无法稳定悬浮粒子。而添加过多的盐（>2%）则会影响配方的澄清度和浊点。