千萬不要小看台灣的實力！台積電先進製程的未來，部分關鍵就藏在台南一座使用100%再生能源電力製造的綠色氫氣（Green Hydrogen）生產工廠中.....（03/24/2021 天下雜誌719期）

亞東工業氣體揭幕全球最大超純低碳氫氣生產設備，典禮上，台積電與美商半導體企業代表坐滿一整排，連台電董事長也特別出席。氫氣為何攸關台灣半導體競爭力？

文：劉光瑩

3月18日上午，在台南科技工業區，一座兩層樓高的嶄新廠房外，貼著「水電解室」、「氧氣純化室」，以及許多三角形的警示標誌，乍看是普通的工業廠房，但卻藏著半導體產業先進製程不可或缺的原料。

這是亞東工業氣體廠最新完工的超純氫氣設備，預計以再生能源供電，電解超純水產出氫氣。亞東工業氣體是全球第二大工業氣體供應商、法國液空集團（Air Liquide）與遠東新世紀集團合資，為法國在台投資最大的製造商。

氫氣究竟有什麼重要？關鍵就藏在新聞稿裡的這一句話：

「這些氫氣生產設備將滿足極紫外光微影技術（EUV）應用中，對超高純度氫氣的新興需求，並利用更環保的氫氣製程，支援台灣主要半導體產業客戶對環境與氣候的目標。」

台積電與美商半導體企業都派代表出席

誰是「主要半導體客戶」？應該不難想像。在完工典禮現場，來自台積電與美商半導體企業的代表，坐滿現場一整排位子，不言自明。

但EUV為何會用到氫氣？還要超高純度？

簡而言之，EUV光的產生，是用每秒5萬次雷射光束轟擊液態錫，過程中錫被氣化後容易沉積在EUV的反光鏡上造成霧化，影響製程。因此注入氫氣，與錫結合成氣態的氫化錫，然後被抽出腔體。

根據業界人士估算，台積電第18廠等明年全面投產後，每天的氫氣需求量高達48輛槽車。

因應將來可見的新增需求，聯華氣體也已在南科樹谷園區購置土地，將設立2座以天然氣當原料的氫氣產製設備。

亞東的綠氫廠最不同的一點，就是將向台電購買綠電，以電解超純水的方式產出超純氫氣，生產過程無碳排。

無碳排的「綠氫」，幫助供應鏈抗暖化

亞東工業氣體總裁歐柏叡（Olivier Blachier）在完工典禮上表示，一座以綠電驅動的水電解製氫設備，跟天然氣製程相比，每年可減少8000噸碳排。等到5座綠氫 (Green Hydrogen) 設備都完成，減碳效果相當於達到100萬棵樹的固碳量。

他更強調，未來3年內，法國液空集團將確保全球所有氫氣生產都來自綠色能源。3月23日，液空集團更宣布新的永續目標，要在2035年前投資80億歐元發展氫能低碳供應鏈，更預計成為全球第一個宣布達到碳中和的工業氣體公司。

至於在台南的這座電解製氫設備，預計2年內完備購買綠電的程序，屆時生產出來的氫氣，就會是無碳排的「綠氫 (Green Hydrogen) 」，有別於來自化石燃料所製成的「藍氫 (Blue Hydrogen) 」（來自天然氣）與「灰氫 (Grey Hydrogen) 」（來自煤）。

這為何重要？因為在巴黎協議之後，「減碳」乃至於「零碳」，已經成為全球科技供應鏈不能不正視的議題。蘋果宣布，將在2030年前使整體供應鏈達到碳中和，屆時消費者手中的每一台iPhone、iPad等蘋果裝置，生產過程淨碳排量必須為零。

這就是為何蘋果全球供應商，在生產製造與能源使用上，都盡力追求降低碳排，能減多少是多少。例如台積電至去年7月為止，就簽下1.2GW再生能源購買契約，預計可年減218.9萬噸碳排。

"亞東工業氣體表示，整體綠氫設備完工並搭配再生能源生產後，與傳統製程比較，每年將減少超過3萬5000噸碳排。"

台電能源轉型，氫能是最關鍵的技術

除了半導體製程需要用氫氣，在完工典禮上現身的另一位貴賓，也揭示了新的變化。

「能源轉型是台灣現在的關鍵目標，」台電董事長楊偉甫在致詞時指出，最近許多社會關注焦點都在能源轉型，包括核電議題和藻礁公投，「最後都劍指發電來源。」

他強調，全球零碳電力發展，氫能是最關鍵的技術。他沒說錯，因為過去幾年，氫氣在全球各國都成為發展重點，包括日本、韓國、中國、德國、澳洲、北歐各國，無不投入巨大資源研發氫能，用於工業製造、儲能、新能源車等，儼然成為能源轉型的要角。

"「台電是國家電力公司也是台灣最大碳排來源，我們一定要探索新技術，」他更提出，希望2050年，台灣能達到零碳社會、台電成為無碳電力公司。"

從全球到台灣、從半導體龍頭到國家電力公司，無不卯足全力拚減碳。正如比爾蓋茲在3月出版的新書中所說，達到零碳未來並不容易，但並非不可能，所有人與企業都必須傾全力，才能避免氣候災難。（責任編輯：吳廷勻）

完整內容請見：
https://www.cw.com.tw/amp/article/5113276

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行政院雲嘉南區聯合服務中心副執行長王開玹出席直得科技樹谷園區二期廠房新建工程動土典禮。
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